韓國公司Chemtronics宣布,將投資高達170億韓元,以擴大在韓國的EUV光刻膠化學材料生產。此舉旨在應對日本對該類產品的出口限制,并滿足韓國半導體產業對EUV光刻膠不斷增長的需求。與此同時,另一家韓國半導體化學材料商Dongjin Semichem也宣布,計劃開發新一代高NA光刻膠,以適應未來ASML EUV光刻機數量增長的需求。這種新型光刻膠將主要用于制造更先進的半導體設備。此外,據報道,韓國SK集團于2020年斥資400億韓元收購當地錦湖石化的電子材料業務,收購后成立的新子公司SK Materials Performance(SKMP)已開發出一種高厚度KrF光刻膠,并通過了SK海力士的性能驗證,這將有利于SK海力士3D NAND閃存的技術開發。
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